Бочкин, Олег Иванович. Механическая обработка полупроводниковых материалов : Учеб. пособие для подгот. рабочих на производстве / О.И. Бочкин, В.А. Брук, С.Н. Никифорова-Денисова. - Издание 3-е, перераб. и доп. - Москва : Высш. школа, 1983. - 112 стр.: ил. Subjects--Topical Terms: Полупроводники - Обработка