Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений / 
Б.Г. Грибов, Г.А. Домрачев, Б.В. Жук и др. ; Отв. ред. Г.А. Разуваев . 
 - Москва :  Наука ,  1981 . 
 - 322 с. ; 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Машиностроение