Нанотехнология в ближайшем десятилетии : Прогноз направления исследований /
Nanotechnology Research Directions. IWGN Workshop Report
Дж. Уайтсайд, Д. Эйглер, Р. Андерс и др. ; Под ред. : М.К. Роко и др. ; Пер. с англ. А.В. Хачояна.
- Москва : Мир, 2002.
- 292 c. ил.
Библиогр. в конце гл.
5-03-003432-3 0-7923-6220-9
Микроэлектроника Наноэлектроника Технология производства
Технология промышленного производства Нанотехнология