Методы расчета технологических режимов при изготовлении интегральных микросхем : Метод. указ к курс. работе по курсу "Технология микросхем и элементов ЭВА" для спец. 0648 - Конструирование и производство электоронно-вычислительной аппаратуры /
МВиССО АрмССР. ЕрПИ им. К. Маркса ; [Сост. : М.Г. Траваджян и др.]
- Ереван : [б. и.], 1982.
- 30 с . : граф. ; 20 см.
- 517.3 (NLA) .