Методы расчета технологических режимов при изготовлении интегральных микросхем : Метод. указ к курс. работе по курсу "Технология микросхем и элементов ЭВА" для спец. 0648 - Конструирование и производство электоронно-вычислительной аппаратуры / МВиССО АрмССР. ЕрПИ им. К. Маркса ; [Сост. : М.Г. Траваджян и др.] - Ереван : [б. и.], 1982. - 30 с . : граф. ; 20 см. - 517.3 (NLA) .

Библиогр.: с. 29 (7 назв.)


Анализ--Интегральное исчисление--Интегрирование

517.3 (NLA)