TY  - BOOK
AU  - Ржанов,Анатолий Васильевич
AU  - Ильин,Л.А.
ED  - Ин-т физики полупроводников СО АН СССР
TI  - Эллипсометрия: теория, методы, приложения
PY  - 1987///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
KW  - Эллипсометрия
N1  - В надзаг.: АН СССР, Сиб. отд-ние, Ин-т физики полупроводников; Библиогр. в конце докл
ER  -