TY  - BOOK
AU  - Ржанов,А.В.
ED  - Ин-т физики полупроводников СО АН СССР
TI  - Эллипсометрия - метод исследования поверхности
PY  - 1983///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука. Сиб. отд-ние
KW  - Физика
ER  -