Эллипсометрия - метод исследования поверхности / АН СССР. Сибирское отд-е. Ин-т физики полупроводников ; Отв. ред. А.В. Ржанов. - Новосибирск : Наука. Сиб. отд-ние , 1983. - 180 с. ISBN: 3.00 Subjects--Topical Terms: Физика