TY  - BOOK
AU  - Корсунский,А.А.
AU  - Разумнов,И.
TI  - Индикатор толщины тонких слоев, получаемых методом вакуумного распыления материалов
T2  - Электронные вычислительные машины
PY  - 1961///.
CY  - Москва
PB  - [б. и.], 
KW  - Приборостроение
KW  - Толщемеры
KW  - Пленки тонкие
KW  - Измерение толщины
KW  - Пленки тонкие - Толщина - Измерение
ER  -