Корсунский, А. А. Индикатор толщины тонких слоев, получаемых методом вакуумного распыления материалов / А. А. Корсунский, И. Г. Разумнов. - Москва : [б. и.], 1961. - 14 с., 1 л. схем. : ил. ; 22 см. - Электронные вычислительные машины . - 681.1 (NLA) . Subjects--Topical Terms: Приборостроение--ТолщемерыТолщемеры--Пленки тонкие--Измерение толщины Subjects--Index Terms: Пленки тонкие - Толщина - Измерение Universal Decimal Class. No.: 681.1 (NLA)