TY  - BOOK
AU  - Шермергор,Т.Д.
ED  - Московский ин-т электронной техники
TI  - Электромагнитные и механические свойства структкр, применяемых в микроэлектронике: Сборник научных трудов 
PY  - 1983///
CY  - Москва
PB  - Изд-во Московского ин-та электрон. техники
KW  - Радиоэлектроника
ER  -