Электромагнитные и механические свойства структкр, применяемых в микроэлектронике : Сборник научных трудов /
М-во высш. и сред. спец. образования СССР ; Московский ин-т электронной техники ; Редколл.: Т.Д. Шермергор (гл. ред.) и др.
- Москва : Изд-во Московского ин-та электрон. техники, 1983.
- 135 с.