TY  - BOOK
ED  - Московский  институт стали и сплавов,
TI  - Физико-химические основы очистки металлов и полупроводниковых материалов :  : Конспект лекций 
PY  - 1965///
CY  - Москва
PB  - Б. и.
KW  - Металлы химически чистые
KW  - Получение
KW  - Физико-химические основы
KW  - Полупроводники
KW  - Очистка
N1  - Библиогр.: с. 249-250
ER  -