TY - BOOK TI - Cистемы мультипликации для изготовления фотошаблонов T2 - Обзоры по электронной технике. Серия : Полупроводниковые приборы PY - 1973/// CY - Москва : PB - ЦНИИ "Электроника" KW - Фотошаблоны - Изготовление N1 - Библиогр. в конце кн; Ч. 1 (1973, 64 с. : ил., схем.); Ч. 2 (1973, 39 с. : ил., схем.) ER -