TY  - BOOK
TI  - Фото-, электроно-, рентгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем
T2  - [М-во электронной пром-сти СССР]. Тематические указатели литературы
PY  - 1976///]
CY  - [Москва
PB  - ЦНИИ «Электроника», 
ER  -