Фото-, электроно-, рентгено- и лазерная литография в производстве интегральных микросхем /
[Сост. Р.А. Карпович].
- [Москва : ЦНИИ «Электроника», 1976].
- 1, [81] с. ; 20 см.
- [М-во электронной пром-сти СССР]. Тематические указатели литературы ; Серия 7 Технология, организация производства, оборудование ; Выпуск 10(177) .
- 77 (NLA) .