TY  - BOOK
TI  - Фото-, электроно-и и рентгенолитография в производстве интегральных схем: Тематические указатели литературы 
T2  - Серия 7 "Технология, организация производства. Оборудование
PY  - 1975///
CY  - [Москва]
PB  - [Электроника]
ER  -