Фото-, электроно-и и рентгенолитография в производстве интегральных схем : Тематические указатели литературы /
М-во электронной пром-ти СССР ; [Сост. Р.А.Карпович].
- [Москва] : [Электроника], 1975.
- 119 с. ; 20 см.
- Серия 7 "Технология, организация производства. Оборудование ; Вып. 10 (143) .
- 77 (NLA) .