TY  - BOOK
AU  - Шуман,В.Б.
AU  - Юрре,Т.А.
AU  - Ельцов,Андрей Васильевич
TI  - Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии
PY  - 1984///
CY  - Л.
PB  - Ленингр. отд-ние, Наука
KW  - Полупроводниковые приборы - Производство - Материалы
KW  - Светочувствительные материалы полимерные
N1  - ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1984; այլ; Авт. указаны на 4-й с; В надзаг.: АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе
ER  -