Фоторезисты-диффузанты в полупроводниковой технологии / 
[Е. Г. Гук, В. Б. Шуман, А. В. Ельцов, Т. А. Юрре ] ; Отв. ред. А. В. Ельцов. 
 - Л. :  Ленингр. отд-ние :  Наука ,  1984. 
 - 117 с. :  и ;  .  22 см. 
<br/><br/> ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1984  այլ  Авт. указаны на 4-й с.  В надзаг.: АН СССР, Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы - Производство - Материалы<br/>Светочувствительные материалы полимерные