Фоторезисторы - диффузанты в полупроводниковой технологии / Е.Г. Гук, А.В. Ельцов, Т.А. Юрре и др. ; Отв. ред. А.В. Ельцов ; АН СССР. Физико-технический ин-т им. А.Ф. Иоффе. - Ленинград : Наука, Ленингр. отд-ние , 1984. - 118 с. : ил. 19, табл. 22.

1.30


Полупроводники