TY  - BOOK
AU  - Шиллинг,И.
AU  - Рубцов,И.Н.
AU  - Федотов,Я.А.
AU  - Поль,Г.
TI  - Фотолитография и оптика
PY  - 1974///
CY  - Берлин, Москва
PB  - Советское радио, Техника
KW  - Оптика
KW  - Фотолитография
N1  - Список лит. : с. 385388
ER  -