Фотолитография и оптика / 
 Fotolitografie und Optik 
И.Н. Рубцов и др. ; Под ред. Я.А. Федотова, Г. Поля. 
 - Берлин ;  Москва :  Советское радио :  Техника,  1974. 
 - 392 с. :  ил., табл. 
<br/><br/>Список лит. : с. 385388 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Оптика<br/>Фотолитография