Пресс, Ф.П. <br/><br/>
Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов / 
Ф.П. Пресс. 
 - Москва :  Энергия,  1968. 
 - 200 с. :  ил. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Фотолитография