TY  - BOOK
AU  - Епифанов,Георгий Иванович
TI  - Физические основы микроэлектроники: Учеб. пособие 
PY  - 1971///
CY  - Москва
PB  - Сов. радио
KW  - Микроэлектроника
N1  - Предм. указ. : с. 367 - 369; Библиогр. 92 назв
ER  -