TY  - BOOK
AU  - Броудай,И.
AU  - Мерей,Дж
AU  - Володин,В.А.
AU  - Першенков,В.С.
AU  - Шальнов,А.В.
TI  - Физические основы микротехнологии
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Радиотехника. Электроника
N1  - Оригинал на англ; Ivor Brodie, Julius J. Muray-; New York : Plenum Press : 1982
ER  -