TY - BOOK ED - Каунасский политехнический институт им. Антанаса Снечкуса TI - Физическая электроника: "Модификация свойств тонких пленок ионными пучками" : Сборник статей PY - 1979/// CY - Вильнюс PB - Б. и. KW - Пленки тонкие KW - Модифицирование радиационное KW - Сборники KW - Облучение ионами N1 - Библиогр.: в конце статей ER -