Миттова, Ирина Яковлевна <br/><br/>
Физико-химия термического окисления кремния в присутствии примесей / 
И.Я. Миттова ; И.К. Маршаков. 
 - Воронеж :  Изд-во Воронеж. ун-та,  1987. 
 - 200 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Примеси<br/>Термическое окисления