TY  - BOOK
AU  - Угай,Я.А.
ED  - Воронежский государственный университет им. Ленинского комсомола
TI  - Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике: Сборник научных трудов 
SN  - 5-7455-0135
PY  - 1989///
CY  - Воронеж
PB  - Изд-во Воронеж. ун-та
KW  - Микроэлектроника
ER  -