Физико-химия материалов и процессов в микроэлектронике :  Сборник научных трудов / 
Воронежский гос. ун-т им. Ленинского комсомола ; Редколл.: Я.А. Угай (отв. ред.) и др. 
 - Воронеж :  Изд-во Воронеж. ун-та,  1989. 
 - 196 с. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>5-7455-0135 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника