TY  - BOOK
AU  - Шермергор,Тимофей Дмитриевич
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Физика микроэлектронных приборов: Сборник научных трудов 
PY  - 1981///
CY  - Москва
PB  - Изд-во Моск. ин-та электрон. техн.
KW  - Микроэлектроника
ER  -