Физика микроэлектронных приборов :  Сборник научных трудов / 
Моск. ин-т электрон. техники ; Редкол.: Т.Д. Шермергор (науч. ред.) и др. 
 - Москва :  Изд-во Моск. ин-та электрон. техн.,  1981. 
 - 96 с. ;  20 см. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника