TY  - BOOK
AU  - Фреик,Дмитрий Михайлович
AU  - Галущак,Марьян Алексеевич
AU  - Межиловская,Любовь Иосифовна
TI  - Физика и технология полупроводниковых пленок
SN  - 5-11-000541-9
PY  - 1988///
CY  - Львов
PB  - Вища шк.
KW  - Полупроводниковые пленоки
KW  - Физика
N1  - Библиогр.: с. 143-150 (179 назв.)
ER  -