TY  - BOOK
AU  - Никитин,Михаил Михайлович
ED  - 
TI  - Технология и оборудование вакуумного напыления
SN  - 5229007885
PY  - 1992///
CY  - Москва : 
PB  - Металлургия, 
KW  - Нанесение металлических и неметаллических покрытий
N1  - Библиогр.: с. 109-111 (65 назв.):
ER  -