TY  - BOOK
AU  - Пузырев,Владимир Андреевич
TI  - Уравление технологическими процессами производства микроэлектронных приборов
PY  - 1984///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Конструирование электрических цепей
ER  -