TY  - BOOK
AU  - Грановский,Ю.В.
TI  - Лабораторные методы тонкой очистки газов, применяемых в полупроводниковой технике
T2  - Информация/ Главниипроект при Госплане СССР. Гос. науч.-исслед. и проектный ин-т редкометаллич. пром-сти "Гиредмет"; 1 (12))
PY  - 1960///
CY  - Москва : 
PB  - Отд. науч.-техн. информации, 
KW  - Газы природные
KW  - Очистка
ER  -