TY - BOOK AU - Метфессель,С. AU - Меламид,А.Е. AU - Хлебников,Н.С. TI - Тонкие пленки их изготовление и измерение: Пер. с нем. PY - 1963/// CY - Л., Москва PB - Госэнергоиздат KW - Тонкие пленки ER -