TY  - BOOK
AU  - Красов,В.Г.
AU  - Петраускас,Г.Б.
AU  - Чернозубов,Ю.С.
TI  - Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике
PY  - 1985///
CY  - Москва
PB  - Радио и связь
KW  - Общетехнические дисциплины
N1  - Библиогр.: с. 163 -166 (86 назв.)
ER  -