TY - BOOK AU - Рейсман,А. AU - Роуз,К. AU - Катман,А.К. TI - Технология толстых и тонких пленок: Пер. с англ. PY - 1972/// CY - Москва PB - Мир KW - Электроника KW - Пленки тонкие N1 - Оригинал на англ.; Edt. Arnold Rejsman, Kenneth Rose -; New York : 1971 ER -