TY  - BOOK
AU  - Зи,С.М.
AU  - Чистяков,Юрий Дмитриевич
TI  - Технология СБИС: В 2-х кн. : Пер. с англ. 
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Микроэлектроника
N1  - Кн. 1 (408 с.); К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац и др.; Кн. 2 (454 с.); К. Могэб, Д. Фрейзер, У. Фичтнер и др; Оригинал на англ.; Edt. S.M. Sze -; New York : McGraw-Hill Book Company : 1983
ER  -