Технология СБИС :  В 2-х кн. : Пер. с англ. / 
Под общ. ред. С. Зи ; Пер. В.М. Звероловлева и др.; Пер. под ред. Ю.Д. Чистякова. 
 - Москва :  Мир ,  1986. 
 - 2 кн. ;  23 см. 
<br/><br/> К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац и др. ;  К. Могэб, Д. Фрейзер, У. Фичтнер и др.  Кн. 1 (408 с.) :  Кн. 2 (454 с.) : 
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника