Технология размерной обработки полупроводниковых материалов :  Учебное пособие / 
А.Н. Комов и др. 
 - Куйбышев :  Б. и.,  1976. 
 - 83 с. 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Машиностроение