TY  - BOOK
AU  - Курносов,Анатолий Иванович
AU  - Юдин,Владимир Васильевич
TI  - Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учебное пособие 
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Полупроводниковые приборы - Технология
ER  -