Курносов, Анатолий Иванович <br/><br/>
Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем :  Учебное пособие / 
А.И. Курносов, В.В. Юдин. 
 - 3-е, перераб. и доп. 
 - Москва :  Высшая школа ,  1986. 
 - 368 с. :  ил. 
<br/><br/><label>ISBN: </label> 1.30 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Полупроводниковые приборы - Технология