Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров : Учебное пособие /
В.Н. Черняев.
- 2-е изд., перераб. и доп.
- Москва : Радио и связь, 1987.
- 463,[1] с. : ил. ; 22 см.
Предм. указ.: с. 456-460
Библиогр.: с. 455 (26 назв.)
Загл. 1-го изд.: Технология производства интегральных микросхем