TY  - BOOK
AU  - Парфенов,Олег Дмитриевич
TI  - Технология микросхем: Учебное пособие 
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
N1  - ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1986; այլ; Предм. указ.: с. 318-319; Библиогр.: с. 317 (13 назв.)
ER  -