Парфенов, Олег Дмитриевич <br/><br/>
Технология микросхем :  Учебное пособие / 
О.Д. Парфенов. 
 - Москва :  Высшая школа ,  1986. 
 - 320 с. :  ил. ;. 
<br/><br/> ամբողջապես կամ մեկ օրացույցային տարվա ընթացքում հրատարակվող մենագրություն 1986  այլ  Предм. указ.: с. 318-319 
<br/><br/>Библиогр.: с. 317 (13 назв.) 
<br/><br/><label>ISBN: </label> 1.10 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектронные схемы интегральные - Производство