Реньян, В. Р. Технология полупроводникового кремния / [Текст] В.Р. Реньян; Пер. с англ. Б. М. Туровского [и др.] ; Под ред. Ю. М. Шашкова . - Москва : Металлургия, 1969. - 335 с. : ил. ; 21 см . Subjects--Topical Terms: Технология неорганических веществ