TY  - BOOK
AU  - Петрова,В.З.
ED  - Московский институт электронной техники
TI  - Химия в  микроэлектронике: (Пособие по курсу "Общая химия" 
PY  - 1975///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - Химия в  микроэлектронике
KW  - Микроэлектроника
N1  - Библиогр. :с. 211
ER  -