Химия в  микроэлектронике  :  (Пособие по курсу "Общая химия" / 
МВССО  СССР; Моск. ин-т электрон. техники; Под ред.: В.З. Петровой. 
 - Москва :  МИЭТ,  1975. 
 - 214 с. :  табл.;  21 см. 
<br/><br/>Библиогр. :с. 211 
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Химия в  микроэлектронике
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Микроэлектроника