Электромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике :  Сборник научных трудов / 
Мин-во высш. и сред. специаль. образ. СССР ; Моск. ин-т электронной техн. 
 - Москва :  [Б.и.],  1983. 
 - 135 с. :  черт., табл. ;  20 см. 
 - 621.38 (NLA) .
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Микроэлектроника
<br/><br/><label>Universal Decimal Class. No.: </label>621.38 (NLA)